反渗透（膜分离）技术的应用使反渗透超纯水设备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器得到了一次进步。近年来开始在国外推广应用的EDI（电去离子）技术，则是超纯水制造技术的一次革命，从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。
反渗透超纯水设备是采用专用RO技术设计，关键部件、设备采用进口名牌产品，工艺先进，质量可靠，可扩展性强，结构合理占地小，水利用率高，能耗低，全自动化运行，操作维护简单。一般产水下限0.25m3/hr，上限不限，水回收率一般可达75%以上，脱盐率＞98%。产水量随进水温度下降和反渗透膜老化或受污染有一定变化。
反渗透超纯水设备典型工艺流程为：
1: 预处理－反渗透－纯化水箱－离子交换器－紫外灯-纯水泵－用水点
2: 预处理－一级反渗透－二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
3: 预处理－反渗透－中间水箱－中间水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
反渗透设备优点
1、RO机设计回收率＞75％；
2、RO进水低压保护，防止高压泵缺水空转；
3、RO系统开机自动冲洗，系统连续运行1小时自动冲洗；
4、预处理再生、反冲洗时RO系统自动关机；原水泵自动启动；
5、原水箱水位低或纯水箱水位高时RO机自动关机，纯水箱水位低时RO机自动开机；
6、设置故障报警指示；
7、内置PLC有灯示，维护更容易；
反渗透纯水系统广泛应用于：
电子工业用水 集成电路、硅晶片、显示管等电子元器件冲洗水
制药行业用水 大输液、针剂、片剂、生化制品、设备清洗等
化工行业工艺用水 化工循环水、化工产品制造等
电力行业锅炉补给水 火力发电锅炉、厂矿中低压锅炉动力系统
食品工业用水 饮用纯净水、饮料、啤酒、白酒、保健品等
海水、苦咸水淡化 海岛、舰船、海上钻进平台、苦咸水地区
饮用纯净水 房产物业、社区、企事业单位等
其它工艺用水 汽车、家电涂装、镀膜玻璃、化装品、精细化学品等