主要特点：
1.该炉体采用上下“分-合”结构，易于取放炉管；
2.炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1100℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布，并且发热元件已做内嵌式固化，加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子出厂时：热电偶都已做严格的测温校验，不合格品严禁出厂。
8.还可选配功能强大的触摸屏温度控制系统，利用触摸屏丰富的的图文显示，人机交互更加轻松，设备操作更加简便。
9.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温，中温，高温的老化测试，确保产品质量稳定可靠。
10.气体流量采用电子式质量流量控制器进行精确测量和控制。
11.真空泵为双击旋片式，可以长时间连续工作，并配有油气过滤器，可以很好的净化油气，防止污染。
12.炉管真空度实时在线检测并可程序控制。
主要技术参数
| 产品名称 | 管式炉CVD系统 |
| 产品型号 | KJ-O1200-60-3ZV10 |
| 炉膛模式 | 开启式 |
| 显示模式 | LED |
| 炉膛材料 | 进口纤维 |
| 加热元件 | 进口合金加热丝 |
| 极限温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | ≤1150℃ |
| 升温速率 | ≤20℃(建议:10℃/min) |
| 加热温区 | 单温区 |
| 温区长度 | 420mm |
| 恒温区长 | 200mm |
| 炉管材质 | 高纯石英 |
| 炉管直径 | 80mm |
| 炉管长度 | 1400mm |
| 密封方式 | 不锈钢真空法兰 |
| 气 密 性 | 真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa |
| 控制模式 | 智能PID多段程序控温 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
| 预存曲线 | 可预存多条温度曲线 |
| 电流监控 | 有 |
| 电压监控 | 有 |
| 超温报警 | 有 |
| 过流保护 | 有 |
| 断偶提示 | 有 |
| 测温元件 | K型热电偶 |
| 电气认证 | CE认证 |
| 供电电源 | 220V 50Hz～60Hz |
| 整机功率 | 4.5KW |
| 气体通道 | 可连接3种气源 |
| 流 量 计 | 质子流量计 |
| A路量程 | 0～100SCCM |
| B路量程 | 0～200SCCM |
| C路量程 | 0～500SCCM |
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| 气路压力 | -0.1～0.15 MPa |
| 系统真空 | 5～10Pa |
| 泵路链接 | KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀 |
| 真 空 计 | 标准配置机械真空计，也可选配电子真空计 |
| 售后服务 | 12个月质保，终身保修 |
| 包装形式 | 三合板木质包装箱，包装箱不回收 |
| 随机配件 | 石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。
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