科佳电炉立足于化验设备产品的研发制造,全面开发生产气氛炉,管式炉,量热仪,测硫仪,马弗炉,高温箱式炉,管式炉,烤瓷炉,箱式马弗炉,真空炉,管式炉CVD系统,升降炉产品。
产品介绍:
石墨烯生长炉设备由KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以对多种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。
化学气相沉积系统CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
规格参数:
结构 | 采用双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于55°C。保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能,减少热量的损失内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 |
加热元件 | 掺钼合金加热丝
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工作温度 | 1100°C |
最高温度 | 1200°C |
最大升温速率 | 5°C/min |
最大降温速率 | 5°C/min |
加热区长度 | 455mm (18") |
恒温区长度 | 150(+/-1°C) |
温控系统 | 一个精密温度控制器 PID方式控制,通过可控硅 SCR可设置30段升降温程序。 |
控温精度 | +/-1°C |
炉管材质和尺寸 | 石英管 ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm |
密封法兰 | 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装数字式真空显示计,和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr,泄漏率最大6 mtorr/min |
输入电源 | AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:最大5KW |
真空泵和配件 | 真空泵 | 一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr |
配件 | 标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口,两个不锈钢针阀, 1/4"的软管接头一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍一个LED数字式真空显示计(测量范围: 0.1mtorr ~ 850 torr) |
气体流量计 | 4个浮子流量计,可同时混入4种不同气体。 四通道控制 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口 MFC 1范围 0~100 sccm MFC 2和3 0~500 sccm 进气接口 1/4NPS 出气接口 1/4NPS |
可以根据用户要求定制产品
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