设备介绍：
MXGH1200-100(80)全自动滑轨式双管真空管式炉是专为化学气相沉积法制备石墨烯片而设计的，该炉搭配质量混气系统、高（低）真空系统组成CVD系统，可以通过滑动炉体来实现快速升降温，配置不同的真空系统来达到所需的真空度，同时通过四路高精度质量混气系统控制不同气体。
炉体采用双层壳体结构，壳体间配有风冷系统，能有效的降低炉壳表面温度。炉底以直线轨道为平台，通过智能轨道电机实现炉体自由滑动；反应区采用双石英管结构，外管直径100mm、内管直径80mm,内外两管通过双通道水冷法兰密封，形成两管之间及内管两个独立的腔室，金属薄膜围绕在内管表面做为基底，前驱反应气体通过两管间隙发生CVD反应。
设备用途：
MXGH1200-100(80)全自动滑轨式双管真空管式炉是生长石墨烯研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
设备技术参数：
MXGH1200-100（80）全自动滑轨式双管真空管式炉
技 术 参 数
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基本参数 | 产品型号 | MXGH1200-100（80） | 加热区尺寸 | 440mm恒温150mm |
极限温度 | 1200℃ | 工作温度 | ≤1100℃ |
外管规格 | 100*94*1400mm | 内管规格 | 80*74*1500mm |
表面温度 | < 60℃ | 控温精度 | ±1℃ |
最大功率 | 4 KW | 工作电压 | 单相220V |
开门方式 | 上开式 |
壳体结构 | 双层，壳体间风扇制冷，可使炉体表面快速降温。 |
节能效果 | ★ 保温时仅需40%功率 |
数据显示模式 | LED数显仪表 | ★ 可选配豪华型智能触摸屏仪表，实时曲线显示，也可用U盘导出数据，在电脑上安装查看软件 | |
控制模式 | 智能PID调节、模糊控制、自整定功能 |
温度曲线 | 30段可编程控制，可设置30段升降温程序 |
测温元件 | K型热电偶 |
加热元件 | 优质掺钼铁铬铝合金加热丝 环形加热，温场均匀，能耗低 升温速率建议:10℃/Min Max:20℃/Min | |
炉膛保温材料 | 1500型高纯氧化铝微晶体纤维，保温性能好 |
售后服务 | 12个月质保（相关易耗件除外），终身保修 |
包装方式 | 三合板木质包装箱 |
电 源 线 | 标配2米 若需更长，请购买设备时提前说明，需另购 | |
坩 埚 | 我司有各种规格的坩埚，需要可咨询业务人员 |
炉体尺寸 | 620mm（长）*420mm（宽）*520mm（高） |
设备重量 | 180Kg |
控制方式扩展 | ★ 可选配485转换接口，实现与计算机相互连接。选配专用的电脑控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。为客户提供方便，本公司也可以代购电脑。 | |
真空度 | A.若使用VP系列单级旋片机械泵+CF法兰+针型阀，则真空度可达100Pa B.若使用2XZ系列双级旋转机械泵+KF法兰+真空球阀，则真空度可达10Pa
C.若使用国产或进口分子泵+KF法兰+真空挡板阀，则真空度可达10-3Pa |
随机配件 | 防护手套1双；坩埚钳1把；刚玉舟1只；石英管；炉塞；炉勾；6号内六角（法兰专用）；法兰一套；配套气管；高温密封圈8个；产品说明书1份；仪表说明书1份；保修证书1份。 |
配件图片 | 耐高温手套 | 坩埚钳 | 刚玉舟 | 石英管 |
| 炉塞 | 不锈钢法兰 | 高温密封圈 | 真空波纹管 |
选配图片 | 机械真空泵 | 国产分子泵 | 进口分子泵 | 质量混气系统 |
四路质量混气系统MXGQ-2Z
技 术 参 数
窗体顶端
MXGQ-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在MXGQ-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合微行炉业的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
质量流量控制器
工作电压：220V
最大输出功率：18W
质量流量计量程：
控制器1：0-100 SCCM
控制器2：1-199 SCCM
控制器3：1-199 SCCM
控制器4：1-499 SCCM
可任意选择量程（5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM）
工作温度：5-45 oC
最大压力：3* 10^6 Pa
准确度：±1%FS
机械压力表测量范围：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
针型阀：304不锈钢
混气罐：Φ80*120MM
截止阀：Φ1/4 304不锈钢
外形尺寸：600*600*650MM
窗体底端
MXZ-2/ZKJ-5227-II真空系统（低真空）
技 术 参 数
进口双极旋片真空泵 | | 抽速 (50Hz)：8.1m3/h 功率：550W 接口:KF25 极限真空度：3×10-1帕 |
复合真空计ZKJ-5227-II | | 测量范围：1.0x10 - 1.0x10-5pa 探测路数：2路 显示方式：LED数显 功耗：55W 控制精度：±1% 响应时间：〈1S |
真空波纹管 | Φ25/40 |
挡板阀 | KF25 |
电 源 | 单相 220V |
MXG系列管式炉、真空系统、质量混气系统组合案例
（1200度开启式真空管式炉配备高真空机组）
（1700度双温区真空管式炉配多路质量流量计、高真空机组）
该系列设备国内使用客户（部分）
1、华东理工大学材料与分子学院
2、赣南师范学院
3、汉能控股集团
4、常州第六元素
5、湖南元素密码石墨烯研究院