SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉，可针对于材料的实验探索，也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶，如蓝宝石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等，最高温度可达2100℃，最大可长出晶体尺寸为3"。
技术参数
- 感应射频功率为25KW，射频0.2 - 20 KHz
- 提拉速度 :0.1- 20 mm/h，仔晶杆旋转速度0 ~~ 40 RPM
- 最大提拉行程：50CM
- 最大可熔融温度为：2100℃
- 输入电源：三相，380V，25KW
- 真空腔体尺寸为 ：50 cm dia. X 70 cm h，其真空度可以达到10-3 torr（用机械泵）10-5 tor（用扩散泵）
- 冷却水需求：
- 所需水压 0.13~~0.18MPa
- 所需水流量60 L/minute
- 冷却水会同多炉腔体夹层和仔晶杆
- 产品尺寸:
- 炉体: 88 L x 125 W x 285 H, cm
- 控制柜: 68 L x 54 W x 170 H, cm
- 中频柜: 110 L x 50 W x 150 H, cm
- 产品净重 1.5 T